Модель микроскопа Nikon NEXIV VMZ-H3030 с величиной хода столика 300 х 300 х 150 мм. Платформа позволяет производить высокоточные измерения небольших деталей, например, фотошаблонов, MEMS, корпусов деталей, микросборок, подложек, полупроводниковых пластин, прессованных и штампованных деталей.
- Благодаря гибкости и сверхвысокой точности модель Nikon NEXIV VMZ-H3030 может стать основным инструментом в измерительной лаборатории. За счет оптимального сочетания стеклянных шкал с низким коэффициентом теплового расширения и аппаратных решений микроскоп позволяет достичь субмикронного уровня точности.
- Высокоскоростная лазерная автофокусировка позволяет производить анализ поперечных сечений и оценку плоскостности, а также трёхмерный замер профиля поверхности пресс-форм и штамповок.
- Широкий выбор осветителей обеспечивает точное определение границы раздела.
Новый модуль VMR-Z120X обеспечивает диапазон увеличения от 1х до 120Х благодаря применению двух объективов и изменению оптического пути. 8-ступенчатое масштабирование позволяет системе производить быстрые измерения сотен различных параметров и важные измерения линий шириной от 1 мкм при неизменном поле зрения.
Модуль максимального увеличения позволяет осуществлять измерение деталей с высокоточной обработкой. Идеально подходит для измерения деталей MEMS, печатных плат с высокой плотностью расположения элементов и корпусов полупроводниковых приборов.
- Модуль максимального увеличения в сочетании с высокоточным предметным столиком позволяет производить точное измерение как крупных деталей, так и миниатюрных структур.
- Система лазерной автофокусировки осуществляет фокусировку относительно точки малого размера, чтобы обеспечить высокую точность измерения поперечных сечений и высоты мелких деталей.
- Программное обеспечение для анализа поверхности, поставляемое в качестве опции, позволяет отображать формы деталей MEMS в трёхмерном представлении.
Области применения
Печатные платы, микросборки, подложки, Корпуса (2D + высота), детали MEMS.
Две линзы объектива – широкое поле зрения и большая оптическая сила
Сочетание двух линз объектива позволяет применять модуль для решения самых различных задач: от наблюдений в широком поле зрения при незначительном увеличении до точных измерений при высоком коэффициенте увеличения. Числовая апертура составляет 0,55. Основная (правая) линза обеспечивает диапазон увеличений 16-120Х для измерения мельчайших структур шириной до 1 мкм, дополнительная (левая) – от 1Х до 7.5Х для поиска объектов измерения.
Лазерная автофокусировка через объектив с высоким разрешением и ультрамалым лазерным пятном
Основной объектив оснащён встроенной системой лазерной автофокусировки. Высокая числовая апертура значительно повышает эффективность фокусировки и сканирования тонких, прозрачных/полупрозрачных (например, защитные покрытия) поверхностей или отражающих поверхностей неправильной формы. Высокоскоростное измерение посредством сканирования может производиться со скоростью до 1000 точек в секунду, что позволяет осуществлять высокоточные измерения по оси Z при решении ряда измерительных задач.
Три типа осветителей
Данный модуль обеспечивает наилучшее освещение любой детали благодаря тому, что позволяет использовать три возможных варианта освещения с программным управлением – эпископическое, диаскопическое (основной объектив) и освещение по методу тёмного поля. Это обеспечивает высокую точность обнаружения кромок.
Головка LU с универсальным эпископическим осветителем/моторизованным револьвером
Оптическая система CFI60-2
Знаменитая оптика Nikon CFI60-2 без внутренних напряжений обеспечивает чёткие, высококонтрастные изображения, поэтому данная система лучше всего подходит для наблюдения подложек ЖК-дисплеев большого размера и светофильтров. Система позволяет производить как наблюдение детали, так и измерение её размеров с применением технологий обработки изображений. С помощью призмы высокого дифференциально-интерференционного контраста можно также получать изображения с улучшенным контрастом.
Универсальная моторизованная револьверная головка
Моторизованная револьверная головка с программным управлением позволяет менять увеличение в ходе выполнения обучающей программы. Это позволяет производить наблюдение при наилучшем увеличении и с оптимально подобранным объективом.
Автоматическое управление – от измерений до обработки данных
Управление всеми функциями системы осуществляется посредством простого в использовании программного обеспечения. Процесс измерения автоматизирован – от управления несколькими источниками света до обработки данных и перемещений столика. Это позволяет обеспечить стабильность и точность результатов измерений.
Широкий выбор объективов серии CFI60-2
Оптическая система CFI60 позволяет получать яркие, высококонтрастные изображения за счёт минимизации бликов, при этом она имеет более высокие числовые апертуры и увеличенное рабочее расстояние.
Изображение по методу ДИК Номарского
Микроскопия по методу дифференциального-интерференционного контраста позволяет визуализировать незначительные перепады высоты в виде чётких, контрастных изображений.
Изображение в тёмном поле
Микроскопия методом тёмного поля эффективна при необходимости обнаружения мелких частиц и царапин на поверхности.
Области применения
Полупроводниковые пластины, LCD размером до 150 мм.
Технические характеристики NIKON NEXIV VMZ-H3030:
| Перемещение по XYZ | Тип 1, 2, 3 и 4 | 300×300×150 мм |
| Тип Z120X с объективом высокого увеличения | 300×300×150 мм | |
| Тип Z120X с объективом малого увеличения | 250×300×150 мм | |
| Тип LU | 1200×720×150 мм | |
| Минимальный шаг считывания | 0.01 мкм | |
| Максимальные вес образца | 30 кг | |
| Точность (L: длина в мм) | U1X, U1Y | 0.6+2L/1000 мкм |
| U2XY | 0.9+3L/1000 мкм | |
| Точность по оси Z (с лазерным автофокусом) | 0.9+L/150 мкм | |
| Камера | Черно-белая ПЗС 1/3”, цветная ПЗС 1/3” (опция) Черно-белая ПЗС 1/3” с прогрессивным сканированием, цветная ПЗС 1/3” (опция) |
|
| Рабочее расстояние объектива | Тип 1, 2 и 3 | 50 мм при угле освещения 37°, 10 мм при угле освещения 75° |
| Тип Z120X | 9.8 мм для объектива большого увеличения и 32 мм для объектива малого увеличения | |
| Увеличение и поле зрения | Тип 1 | 0.5 ~ 7.5× / 9.33×7 ~ 0.622×0.467 мм |
| Тип 2 | 1 ~ 15× / 4.67×3.5 ~ 0.311×0.233 мм | |
| Тип 3 | 2 ~ 30× / 2.33×1.75 ~ 0.155×0.117 мм | |
| Тип Z120X | 1 ~ 120× / 4.67×3.5 ~ 0.039×0.029 мм | |
| Автофокус | Тип 1, 2, 3 и Z120X оборудованы лазерной автофокусировкой через объектив и визуальной автофокусировкой. Тип LU оборудован только визуальной автофокусировкой |
|
| Осветители | Тип 1, 2 и 3 | Светодиодный эпископический и диаскопический осветители 8-сегментный светодиодный кольцевой осветитель (внутренний кольцевой осветитель с углом освещения 37° и внешний кольцевой осветитель с углом освещения 75°) |
| Тип Z120X | Светодиодный эпископический и темнопольный осветители для объективов большого и малого увеличения Светодиодный диаскопический осветитель только для объектива большого увеличения | |
| Требования к питающей сети | AC 100-240В±10% 50 или 60 Гц | |
| Потребление по току | 11A (стандарт), 13A (Z120X) | |
| Размеры и вес | Основной блок и стол | 1000×1100×1900 ммо коло 570 кг |
| Блок управления | 250×550×500 мм/31 кг | |
| Система, включая компьютер на столе | 2400×1400 мм | |
