Модель микроскопа Nikon iNEXIV VMA-4540 с величиной хода столика 450 х 400 х 200 мм разработана в соответствии с требованиями автоматических измерений механических частей, электронных компонентов, штампов и пресс-форм.
Новая система iNEXIV VMA-4540 была специально разработана для объёмных образцов. Она обеспечивает длинный ход 200 мм по оси Z и рабочее расстояние 73,5 мм, что позволяет легко проводить измерения деталей среднего размера, а также одновременные измерения нескольких мелких деталей.
Стандартный 10-ти кратный оптический зум соответствует высоким требованиям оптики и обеспечивает великолепное разрешение с широким полем зрения при больших увеличениях. Низкое искажение оптики и высокая яркость белого светодиодного источника света улучшают контрастность. Эта комбинация делает возможным измерения даже ярких образцов.
VMA-4540V – система для видеоизмерений, VMA-4540 – система для контактных измерений.
Основные характеристики
- Легкость и точность измерений, оптимизированная для трехмерных деталей
Для создания доступной автоматизированной измерительной системы специалисты Nikon использовали самые передовые цифровые технологии компании. Конструкция системы iNEXIV VMA-4540 оптимизирована для простоты использования и обеспечения достоверных и точных измерений трехмерных деталей. - Большое рабочее расстояние
Новая оптическая система обладает сверхдлинным рабочим расстоянием в 73,5 мм. Это обеспечивает достаточный зазор для измерений по оси Z даже при больших увеличениях. - Высокоскоростная точная лазерная автофокусировка (опция)
Помимо стандартной системы автофокусировки Vision AF в наличии имеется дополнительная высокоскоростная система Laser AF с длинным рабочим расстоянием в 63 мм. Она обеспечивает быструю фокусировку и измерение по оси Z независимо от оптического увеличения. - Контактные зонды/Автономное программирование 3D CAD (опция)
Оборудование iNEXIV VMA-4540 совместно с контактной системой измерения с помощью датчика Renishaw TP20/TP200 обладает дополнительными возможностями измерения трехмерных деталей. Кроме этого, новая автономная программа 3D CAD для моделирования трехмерных измерений значительно упрощает программирование измерений, выполняемых контактным датчиком. - Комплексное программное обеспечение для автоизмерений
VMA AutoMeasure является специализированным метрологическим программным обеспечением для серии NEXIV VMR. Обладает различными функциями для легкого выполнения задач — от установки, работы с обучающими программами и измерениями до оценки результатов. - Программа «сшивки» изображения EDF/Stitching и программа для инспекции множества точек (Point Cloud Inspection) (опция) iNEXIV VMA-4540 выполняет захват совмещенных изображений с увеличенной глубиной резкости. Опциональное ПО EDF/Stitching Express позволяет последовательно архивировать цифровое изображение и получать данные множества точек для последующего анализа с помощью ПО 3D CAD Inspection / Reverse Engineering.
Высокая точность
За счет использования алюминиевых сплавов в конструкции системы, продольные наклоны и отклонения от направления, вызванные изменениями температуры, были сведены к минимуму. В сочетании с высокой точностью предметного стола системы повышается точность и количество произведённых измерений.
Стол для микроскопа и компьютер для обработки измерений поставляются в качестве опции.
Новая оптика с объективом Apochromat LWD
Компанией Nikon была разработана новая оптическая система, охватывающая малые увеличения, которая работает при большом рабочем расстоянии и подходит для трехмерных измерений элементов. Апохроматический объектив с числовой апертурой 0.11 обладает низким уровнем искажений (меньше 0.1%) который обеспечивает длинное рабочее расстояние 73,5 мм на всём диапазоне увеличения. Более того, усовершенствование светодиодной подсветки повышает контрастность изображения.
10X увеличение с широким полем зрения
VMA-4540 поставляется со стандартной пятиступенчатой 10-ти кратной оптической системой, которая обеспечивает превосходное разрешение при большом увеличении, а также широкое поле обзора при малом увеличении. Увеличенная точность позиционирования достигается за счет устранения зазора в механизме масштабирования при использовании пятиступенчатой трансфокации, и делает ее идеальной для выполнения измерений.
Высокоинтенсивный белый светодиодный источник освещения
В системе VMA-4540 применяется белый светодиодный источник света для эпископического и диаскопического и 8-ми сегментной кольцевой подсветки. Светодиоды высокой яркости имеют постоянную цветовую температуру и уменьшенное мерцание, благодаря чему обеспечивается большая точность измерений, в частности, при работе с цветными изображениями. Высокая скорость отклика светодиодов на изменение яркости освещения повышает производительность измерительных операций.
Восьмисегментная кольцевая светодиодная подсветка
Эта система освещения может управляться в восьми различных направлениях. Белый светодиод при среднем угле освещения 18° позволяет наблюдать объекты с крайне низкой контрастностью по краю, которые, как правило, не видны под эпископическим освещением. Такая система освещения эффективна для измерения формы и других трёхмерных объектов.
Эпископическое и диаскопическое освещение
Обе системы освещения используют источник освещения на основе белых светодиодов, которые обеспечивают высокую интенсивность света, близкую к галогеновым лампам. Для эпископического освещения, в котором ранее не применялись белые светодиодные источники, система VMA-4540 впервые в использует фасеточный интегратор, благодаря которому обеспечивается достаточное значение числовой апертуры и равномерное освещение по всему полю обзора. В диаскопическом освещении матрица белых светодиодов используется в качестве системы фоновой подсветки.
Высокоскоростная и высокоточная автофокусировка Vision AF
Благодаря внедрению нового алгоритма и применению ПЗС-камеры с прогрессивной развёрткой, были повышены скорость и точность системы Vision AF, характеристики которой теперь приближаются к характеристикам системы лазерной автофокусировки через объектив. Система Vision AF удобна в тех случаях, когда нельзя использовать лазерную автофокусировку через объектив, например, при необходимости фокусировки на закруглённых кромках или кромках с фасками. Бесконтактные измерения с использованием визуальной автофокусировки не вызывают повреждения или деформации деталей, а значит не требует стопора. Система Multiple-Vision AF позволяет производить одновременное измерение в нескольких точках в пределах одного поля зрения, расположенных на разной высоте.
Оптически независимая лазерная автофокусировка (опция)
Помимо стандартной визуальной автофокусировки дополнительно может использоваться высокоскоростная лазерная автофокусировка, которая обеспечивает большое рабочее расстояние 63 мм. Для лазерной автофокусировки в VMA-4540 применяется бесконтактный датчик, который использует красный полупроводниковый лазер и позволяет измерять высоту с субмикронным разрешением. Лазерная автофокусировка обеспечивает быструю и высокоточную фокусировку на поверхности исследуемого объекта независимо от оптического увеличения, делая измерения высоты образца предельно простыми.
Дополнительное увеличение 1.5x (опция)
Каждая модель может быть укомплектована модулем дополнительного увеличения 1.5x, необходимым для точного измерения электронных частей.
Контактный датчик для измерения высоты и границ с расширенным диапазоном охвата (опция)
Оборудование Nikon iNEXIV VMA-4540 предусматривает возможность установки системы измерения Renishaw на базе датчиков TP20 или TP200, обеспечивая возможность выполнения контактных измерений. Эта система позволяет определять координаты поверхности и границы сложных 3D-деталей, где невозможно применение видеодатчиков, например, измерение внутреннего диаметра сальника или острых углов вставок. Единая программа измерений может включать визуальное, лазерное и контактное исследование для реализации мультисенсорной метрологии в общей системе координат.
Хотя контактные датчики и смещены относительно оптической оси микроскопа, измерения производится в той же системе координат.
TP20 – это кинематический контактный датчик. Двухэлементная конструкция состоит из корпуса датчика и съемного модуля (модулей) измерительных наконечников, который осуществляет автоматическую смену конфигурации контактных датчиков с помощью программного обеспечения iNEXIV VMA TP AutoMeasure.
TP200 представляет собой электронный контактный датчик, использующий тензометрическую технологию, обеспечивающая большую точность по сравнению с кинематическими контактными датчиками. Элементы системы TP200 включают в себя корпус датчика TP200, модуль измерительных наконечников и интерфейс датчика PI200.
Кроме этого, в качестве дополнительного оборудования доступно устройство замены модулей контактных датчиков MCR20, адаптированное для системы iNEXIV. Устройство MCR20 предназначено для хранения различных модулей контактных датчиков с возможностью их автоматической смены.
Технические характеристики NIKON NEXIV VMA-4540:
| Перемещение по XYZ | 450×400×200 мм |
| Диапазон измерения с контактными датчиками c TP и MCR20 | 400×400×166 мм (TP20) 400×400×170 мм (TP200) 450×400×200 мм (Vision AF) 325×400×166 мм (TP20) 325×400×170 мм (TP200) 375×400×200 мм (Vision AF) |
| Минимальный шаг считывания | 0.1 мкм |
| Максимальные вес образца | 40 кг |
| Точность (L: длина в мм) при температуре 20°С±0.5K | XY MPE E1: 2+6L/1000 мкм (c Vision AF) |
| XY MPE E2: 3+6L/1000 мкм (c Vision AF) | |
| Z MPE E1: 3+L/100 мкм (c лазерной AF или контактным датчиком) | |
| Повторяемость (2Ϭ) | 1 мкм |
| Камера | Ч/б ПЗС 1/3” с прогрессивным сканированием, цветная ПЗС 1/3” (опция) |
| Рабочее расстояние | 73.5 мм (63 мм для лазерной автофокусировки) |
| Увеличение | 0.35 ~ 3.5× (0.52 ~ 5.2× с модулем 1.5х) |
| Поле зрения | 13.3 х 10 ~ 1.33 х 1 мм (8.9 x 6.7 ~ 0.89 x 0.67 мм с модулем 1.5х) |
| Автофокус | Визуальная автофокусировка Vision AF Лазерная автофокусировка Laser AF (опция) |
| Осветители | Светодиодный осветитель контура (снизу) Светодиодный осветитель поверхности (сверху) Светодиодный 8-сегментный кольцевой осветитель косого пучка |
| Видеоразрешение | 640х480 пикселей |
| Контактный датчик (опция) | Renishaw TP200/TP20 |
| Требования к питающей сети | AC 100-240В±10% 50 или 60 Гц |
| Потребление по току | 5A – 2.5A |
| Рабочие условия | Температура: от 10°С до 35°С Влажность: 70% или менее |
| Размеры и вес | Основной корпус со столом (опция): 650×700×1557 мм/110 кг Контроллер: 145×400×390 мм/14 кг |
| Процессор | Intel Core2 Duo или лучше |
| Память | 4 Гб или более |
| Операционная система | Windows 7 32bit |
| Интерфейс | USB2.0/IEEE1394 |









