Инспекционные микроскопы Nikon предназначены для изучения поверхности полупроводниковых пластин, печатных плат и электронных компонентов. Объектив расположен над поверхностью образца. Поэтому важнейшим параметром является рабочее расстояние объектива, позволяющее изучать элементы, расположенные на разной высоте. Для наблюдения мелких деталей и незначительных различий используется метод темного поля, позволяющий регистрировать только свет, рассеянный образцом.
Особенности:
- Бесконтактный метод
- Разрешение по высоте до 1 пикометра
- Двулучевая интерференция
- Сканирование столом по XY, пьезо сканер по Z
- Определение толщины покрытия
Две модели:
- BW-S500 с камерой высокого разрешения 2046х2046 пикс
- BW-D500 с высокоскоростной камерой до 2000 к/с
6 комплектов с разной степенью моторизации.
После сканирования доступен анализ профиля поверхности и шероховатости Ra, Rq, Rz, Sa, Sq, Sz.
Объективы с уникальной оптикой CF
Знаменитая оптика Nikon успешно сочетает в себе большие рабочие расстояния и высокие числовые апертуры и позволяет получать четкие изображения без аберраций независимо от кратности объектива.
Технические характеристики NIKON BW-D500:
Высокое разрешение | ||||||
Модель | BW-S501 | BW-S502 | BW-S503 | BW-S505 | BW-S506 | BW-S507 |
Разрешение Z | 1 пм (0.001 нм) | |||||
Кол-во пикселей | 2046х2046 | |||||
Пьезо | объектив | револьвер | ||||
Перемещение Z | Ручное | Моторизованное | Ручное | Моторизованное | ||
Перемещение XY | Ручное | Моторизованное | Ручное | Моторизованное | ||
Высокая скорость | ||||||
Модель | BW-D501 | BW-D502 | BW-D503 | BW-D505 | BW-D506 | BW-D507 |
Разрешение Z | 1 пм (0.001 нм) | |||||
Кол-во пикселей | 510х510 | |||||
Пьезо | объектив | револьвер | ||||
Перемещение Z | Ручное | Моторизованное | Ручное | Моторизованное | ||
Перемещение XY | Ручное | Моторизованное | Ручное | Моторизованное |