Маленький и компактный, подходит для исследований и разработок.
Особенности
- Компактный дизайн, режим RIE (реактивное ионное травление)
- Экономичная машина плазменной очистки
- Простая операция плазменной обработки
- Среди плазменных газов, кроме ионов и электронов, есть электрически нейтральные атомы и молекулы, которые электроны перенесли к электрическому возбуждению.
- Путем распыления ионами можно удалять не только органические вещества с поверхности объекта, но и неорганические вещества.
