Лабреактив > У нас вы можете купить любое лабораторное оборудование > Общелабораторное оборудование > Плазменный модификатор > Плазменный очиститель Yamato Scientific Co.,Ltd V1000XS с параллельным электродом

Плазменный очиститель Yamato Scientific Co.,Ltd V1000XS с параллельным электродом

Артикул: 328214

Категория:
Производитель:

Получить расчет

    Подходит для процессов сухой очистки, таких как удаление органических веществ, окисленной пленки, а также для очистки поверхностей, травления и т. д.

    Особенности

    • Высокоточный согласующий блок и высоконадежный радиочастотный генератор
    Модель  V1000XS
    Плазменный режим DP/RIE
    Частота колебаний 13,56 МГц
    Радиочастотная мощность 1,000 ∼ 2000 Вт
    Размеры электрода (Ш х Г) 400 × 375 мм　Параллельная плоская ступень
    Реакционный газ Регулирование массового расхода, 2 системы + 1 для продувочного газа
    Вакуумный насос В комплекте, объем выпуска около 1000 — 1500 л/мин
    Устройство безопасности Дверной выключатель, Блокировка боковой панели, Аварийный выключатель, Устройство защиты от перегрева
    Внутренние размеры (Ш×Г×В) 600×554×440 мм
    Внешние размеры (Ш×Г×В) 900×1000×2040 мм
    Источник питания AC 220 В~AC 415 В
    3-х фазный с понижающим трансформатором

    Похожее оборудование