Термоэлектрические процесс-термостаты для полупроводниковой промышленности с рабочим диапазоном от –20 до 90°C
Термоэлектрическая система регулирования температуры на месте использования (Point-of-Use, Semistat) обеспечивает воспроизводимое регулирование температуры для задач плазменного травления. Данная система обеспечивает динамическое регулирование температуры электростатического держателя пластин (ESC) и может использоваться для любых видов травления. Термоэлектрические системы регулирования температуры LAUDA Semistat основаны на проверенных и известных принципах теплопередачи элементами Пельтье. Использование этих элементов позволяет быстро и точно регулировать температуру, что необходимо для реализации сложных процессов при производстве все более мелких компонентов.
Благодаря использованию систем регулирования температуры на месте использования (Semistat) потребление энергии по сравнению с системами на базе компрессора можно снизить на 90 %. Поскольку устройство занимает очень мало места и его можно установить под полом на месте использования, расход площади чистого помещения минимизируется. Быстрое и точное регулирование температуры профилей температур процесса до ±0,1 K позволяет достигать более высокой однородности «от пластины к пластине».
Технические характеристики:
|
Рабочая температура, мин.
|
-20°C
|
|
Рабочая температура, макс.
|
90°C
|
|
Температура окружающей среды, мин./макс.
|
5°C/40°C
|
|
Постоянство температурного режима
|
0.1 ± K
|
|
Тип применения
|
Внешнее
|
| Холодопроизводительность при 20°C |
1.2 кВт
|
|
Давление нагнетания, макс., 50 Гц
|
2.8 bar
|
|
Расход, макс. (нагнетание), 50 Гц
|
22 л/мин
|
|
Размеры (Ш х Г х В)
|
116 х 232 х 470 мм
|
